硅片等级标准

时间:2017-4-23 作者 :管理员
一、优等品
 1:硅片表面光滑洁净。
 2:TV:220±20μm。
 3:几何尺寸: 边长125±ffice:smarttags" /><?xml:namespace prefix = st1 ns = "urn:schemas-microsoft-com[img][/img]0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm; 边长103±0.5mm、对角135±0.5mm; 边长150±0.5mm 、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。
 同心度:任意两个弧的弦长之差≤1mm。
 垂直度:任意两边的夹角:90°±0.3。    
二、合格品  
 一级品:  
 1:表面有少许污渍、轻微线痕。
 2:220±20μm ≤TV≤220±30μm。
 3:几何尺寸: 边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm; 边长103±0.5mm、对角135±0.5mm; 边长150±0.5mm 、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。
 同心度:任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。
 垂直度:任意两边的夹角:90°±0.5。    
二级品:  
 1:表面有少许污渍、线痕、凹痕,轻微崩边。
 2: 220±30μm ≤TV≤220±40μm。
 3:凹痕:硅片表面凹痕之和≤30μm。  
 4:崩边范围:崩边口不是三角形状,崩边口长度≤1mm,深度≤0.5mm
 5:几何尺寸: 边长125±0.52mm;对角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm; 边长103±0.52mm、对角135±0.52mm; 边长150±0.52mm 、156±0.52mm、对角203±0.52mm、200±0.52mm。
 同心度:任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。
 垂直度:任意两边的夹角:90°±0.8。    
 三级品:  
 1:表面有油污但硅片颜色不发黑,有线痕和硅落现象。      
 2:220±40μm ≤TV≤220±60μm。  
 3:硅落:整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。    
 三、不合格品  
 严重线痕、厚薄片:TV>220±60μm。
 崩边片:有缺损但可以改Φ103的硅片。
 气孔片:硅片中间有穿孔 。  
 外形片:切方滚圆未能磨出的硅片。
 倒角片(同心度):任意两个弧的弦长之差>1.5mm。
 菱形片(垂直度):任意两边的夹角>90°±0.8。
 凹痕片:硅片两面凹痕之和>30μm。
 脏  片:硅片表面有严重污渍且发黄发黑。
 尺寸偏差片:几何尺寸超过二级品的范围。

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